等離子體原理SPV-150plasma清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
一、產(chǎn)品概述
SPV-150真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分：真空腔及真空系統(tǒng)，等離子體發(fā)生器，控制系統(tǒng)。
（A）真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)真空腔固定于機柜框架內(nèi)，左右兩側(cè)為可拆門，因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）
（B）等離子體發(fā)生器等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內(nèi)達到一定真空度時，產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象，放電后電路會自動調(diào)節(jié)電壓到適當值，保證電路正常穩(wěn)定放電。
（C）控制系統(tǒng)本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設(shè)備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設(shè)備分自動和手動兩種方式。
三、產(chǎn)品優(yōu)勢
1、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
2、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；
3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
4、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生；
5、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點；
6、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
7、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
8、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的；
9、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗。
四、產(chǎn)品規(guī)格
1、配置清單
2、驗收標準
3、損耗清單
注：耗材的使用壽命時間與現(xiàn)場的使用條件有關(guān)系，以上壽命時間僅供參考。
產(chǎn)品型號：SPV-150
公司地址：浙江省寧波市海曙區(qū)氣象路827號
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